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IMEC研發MEMS芯片打造無電池TPM

发布时间:2019-06-07 16:59:33 编辑:笔名

  欧洲微电子研究中心IMEC开发出的一款微机电系统(MEMS)芯片,能够从汽车轮胎内部的振动采集能量,让轮胎压力监测系统(TPMS)不再需要使用。IMEC表示,这种全新的MEMS能量采集技术也能为任何一种低电流的无线传感器络节点供电。

  在1KHz的自然共振频率下,新的MEMS能量采集器输出功率低于500微瓦(microwatt)。在每小时40英哩时速下,汽车轮胎能源产生的能量大约仅比40微瓦多出一些,不过,IMEC表示这已经足够为压力传感器和TPMS系统的无线通讯电路供电了。

  這個MEMS能源采集器包含一個具有壓電層(氮化鋁)夾層的懸臂支架,這個壓電層夾在金屬電極之間形成一個電容器。一個質量塊(mass)連接到懸臂的一端,使其成為可隨著壓電層彎曲而將振動轉換為電能的轉換器。電容兩端的電壓也能被采集,用來驅動無線電路。

  IMEC已经证实,这种微型能源采集器可在6吋晶圆上用真空制程来制造。IMEC预测,其MEMS能源采集器将在许多应用中被用于无线传感器节点,这类应用包括汽车引擎到工业应用等,其共同特点是电池都不大方便充电。

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